Bersagli per sputtering in titanio ad elevata purezza

Bersagli per sputtering in titanio ad elevata purezza

1. Innovazione fondamentale: ridefinire purezza e prestazioni​

• Nome del prodotto: Bersagli per sputtering in titanio di purezza ultra-elevata-(gradi Gr1-Gr12)
• Benchmark di purezza:
• Contenuto di titanio: Maggiore o uguale al 99,95% (ASTM B348)
• Controllo delle impurità: <0.02% (O, N, C ≤0.005%; Fe ≤0.01%)
• Densità: 4,51 g/cm³ (±0,02)
• Perché questo è importante:
• Integrità cinematografica: Sub-ppm impurity levels eliminate voids and inclusions, ensuring uniform film thickness (±2%) and adhesion strength (peel test >50MPa).
• Struttura del grano: I grani equiassici da 50–100 μm (verificati al SEM-) riducono la formazione di archi e migliorano la stabilità della velocità di sputtering del 30% .
• Vantaggio tecnico:
• Fusione per induzione sotto vuoto: materia prima con purezza del 99,999% fusa sotto vuoto di 10⁻³ Pa.
• Pressatura Isostatica a Caldo (HIP): Trattamento da 1.200 gradi /200 MPa per chiudere i pori<5 μm.
• Lavorazione di precisione CNC: Tolleranze ±0,05 mm per dimensioni critiche (ad esempio, spessore target).

2. Soluzioni-specifiche per l'applicazione​

2.1 Produzione di semiconduttori​

Rivestimento in wafer: Obiettivi Gr1 (99,5% Ti) per strati dielettrici di gate (interfacce ossido/nitruro).

Caso di studio: Contaminazione da particolato ridotta dell'80% nello sputtering di wafer da 300 mm.

2.2 Rivestimenti ottici​

Pellicole anti-riflesso: Obiettivi Gr5 (Ti-6Al-4V) per ottiche UV/IR (controllo dell'indice di rifrazione: n=2.2–2,6).

Lenti UV-C: Raggiunge una trasmissione del 99,8% nell'intervallo 200–400 nm.

2.3 Immagazzinamento di energia​

Batterie-allo stato solido: Obiettivi Gr7 (Ti-0,2Pd) per interfacce solido-elettrolita (conduttività ionica: 10⁻³ S/cm).

2.4 Elettronica avanzata​

Circuiti flessibili: Obiettivi Gr12 (Ti-0.3Mo-0.8Ni) per linee conduttrici estensibili (tolleranza alla deformazione: 300%).

3. Garanzia di qualità e conformità​

Certificazioni:

• ISO9001: Tracciabilità completa dalla materia prima al prodotto finito.
• ASTM B381: Resistenza all'infragilimento da idrogeno<200 kPa.
• RoHS/REACH: <100 ppm restricted substances.

Protocolli di test:

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